1. 灰化：然而电浆沉积以及某些电浆蚀刻与灰化(ashing)制程,可以增加或去除在晶圆表面的薄膜. 湿与乾制程的特别组合将决定晶圆背面是否有导电或是绝缘膜在上面. 然而,很少人注意到晶圆背面的薄膜品质;即使很厚的绝缘膜也可能因为在200厘米晶圆背面的某处出现微孔的缺陷,
2. 烧灰：ashes 灰 | ashing 烧灰 | asparagin 天门冬氨
3. 完全燃烧,灰化;除尘,除灰装置：ash hopper 灰斗 | ashing 完全燃烧,灰化;除尘,除灰装置 | ash-pan 炉灰盘
4. 抛光;推光[大漆]：ash 灰(份) | ashing 抛光;推光[大漆] | asphalt 沥青